六十四 改造光刻機(1/2)
投影式光刻機,最重要的就是掩膜版的制作,掩膜版制作完成,工作就算是完成了大半。
不過由于多層次立體晶體管架構的特殊性,掩膜版并不止一塊,而是多塊多層次,分別進行曝光,才能完成。
多塊掩膜版的切換,自然也不是原本的光刻機能夠做到的,為此楊青對光刻機的光學系統,還有工作臺,做了大改,以適應這些特別的加工需求。
也幸虧楊青是生活在華國這個加工業的大國,大部分的零部件,哪怕是需要進口的高精度伺服電機,也能在短時間內到貨,讓楊青的改進工作順利了許多。
僅僅光刻機的改進工作,就持續了一個月的時間,從還有些暖意的晚秋,一直持續到冰冷的寒冬,才算是徹底結束。
楊青學的是計算機,但是光刻機作為人類工業文明的最高結晶,匯集了機械,電子,光學還有軟件方面的大量成果,盡管眼前他所使用的是DUV,而不是阿斯麥的最新成果EUV,可是想要對它進行改進,同樣不僅需要跨越各行業,各門類的知識水平,還需要同樣強悍的動手能力。
不說知識結構,僅僅從動手能力上來說,楊青對于身體的掌控已經到了極點,大概就是腦子怎么想的,手上就能給你實現出來,力氣又大,一塊鋼板,他拿手掰幾下,就能掰出想要的形狀來。
但是這里面論起動手能力,楊青絕對不是最強的,從白一到白十,這幾個機器人,動手能力甚至比楊青還要強。
當然,與其說是這幾個機器人厲害,還不如說是它們背后的小嬡厲害。
這時候,楊青費盡心機研究的人造肌肉,就有了價值,因為人造肌肉的特點就是受到電流的刺激產生收縮。
而芯片對于電流的控制能力,顯然遠大于對伺服電機運動的控制,因為只要伺服電機轉起來,就會有慣性,反應到現實中,就是機器人最終的動作會有些許的變形。
這一些變形對于普通人類來說自然是看不出來的,但是在高精度的加工工作中,就成了瑕疵。
所以小嬡的厲害也是依托于白一它們這些機器人的能力上,才表現出來的。
這就跟白靈白珊它們不同,盡管白靈白珊它們在小嬡的控制下,也能夠勝任一些普通人都能做的工作,但是想利用它們完成光刻機的改進,就是天方夜譚了。
期間完成的還有銀互聯的銀離子鍍層技術,就跟銅互聯的方式相差無幾,只不過進行化學氣相沉積時候,藥劑有了不同,需要進行替換,可以說這是最容易替換的技術了。
當楊青終于站在完工后的光刻機前面,也不禁有種松了一口氣的感覺。
改進后的光刻機,體積足足擴大了一倍還多,這樣的龐然大物,偏偏要用磨繡花針的手法去修配安裝,始終讓人輕松不起來。
楊青費這么大的力氣改造光刻機,自然不是僅僅為了生產這一種九十納米制程的芯片,實際上要不是楊青他們設計的芯片,已經定型在了九十納米上面,現在的光刻機的制程,立刻就能達到二十八納米的程度。
這已經是國產的透鏡,經過小嬡精磨以后,能夠達到的最細線寬了。
理論上來說這樣的透鏡,經過多次曝光以后,也可以加工7納米的芯片,但是楊青對這個興趣并不大,他又不是手機生產企業,對于性能更強的芯片沒有需求,并且就算有了7納米的生產能力,他的芯片又不能和別人家的系統適配,未必能競爭得過人家。
既然光刻機已經改造完畢了,那么接下來最重要的就是試生產一批芯片,好驗證一下改造的效果。
之前的大略試用自然是成功了,一張六英寸硅晶圓,上面只光刻一個芯片,切割封裝以后,還算是成功,芯片的性能也在預計范圍內。
下面進行試生產,就是驗證一下改進后的光刻機,它的生產效率還有成本。
如果成本太高,已經比買進芯片的成本還高,哪怕是性能再強,生產一批以后,就要封存起來,等以后升級換代再重新啟用。
新購進的一千片六英寸硅晶圓被放在原料箱內,隨著輸送帶被傳送進光刻機里面,里面開始抽氣,保持相對真空的狀態,然后硅晶圓被放在工作臺上,鍍膜旋涂,干燥,然后掩膜版升起,激光頭開始工作。
盡管肉眼看不到激光光線,但是從硅晶圓上面,光刻膠的軟化變形,就能看出激光的能量在發揮作用。
光刻機的操作系統已經被小嬡全盤接管,光刻的效率也已經成了原先的十倍以上,工作臺以極快的速度,和激光頭透鏡進行著先對運動,很快就刻完了一塊晶圓,把它送到下一個步驟,然后繼續下一塊晶圓。
接下來的步驟都是在暗箱中進行的,就算是楊青,也看不到刻蝕,離子注入等過程,等在出口處見到它們的時候,已經變成了一塊塊封裝完畢的芯片。
一塊六英寸晶圓上,一共可以切割30片完整的芯片。
因為帶有二十GB內存的關系,使得芯片的表面積,達到了580平方毫米,不過這些內存,更像是CPU的緩存,可以跟CPU同頻工作,直接讀取數據,而不需要像是現在常用的內存一樣,不能跟CPU同頻,只能利用外部
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