經(jīng)過(guò)了幾個(gè)月的焦急等待與煎熬，長(zhǎng)久和虞博士?jī)A注心血的第一個(gè)芯片工廠終于在1983年的五月份調(diào)試成功進(jìn)行了試生產(chǎn)。
    試生產(chǎn)的產(chǎn)品是16k的mos動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器，比較成熟的產(chǎn)品，工藝也不復(fù)雜，但是卻是十分的考驗(yàn)生產(chǎn)線的性能。
    動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單，只要一到三個(gè)晶體管即可構(gòu)成一個(gè)存儲(chǔ)單元，視結(jié)構(gòu)而定。制造存儲(chǔ)器的關(guān)鍵在于集成度，將成百上千的存儲(chǔ)單元集合在一起組成陣列，相互之間的線寬要縮小到極限，這樣才能降低成本，因此對(duì)工藝的要求很高。
    這也是為什么一個(gè)芯片工廠的技術(shù)指標(biāo)乃至一個(gè)國(guó)家的集成電路工藝水平總是用單片存儲(chǔ)器的容量表示的原因，這方面的競(jìng)爭(zhēng)可以說(shuō)用殘酷來(lái)形容，美國(guó)、歐洲、日本都在爭(zhēng)分奪秒的提高動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器的容量，其中以日本做的最為變態(tài)。
    小鬼子以重工業(yè)立國(guó)，幾十年如一日的搞“物作”，信奉的是實(shí)體，懂得以國(guó)家之力沖刺難關(guān)，終于突破了集成電路制造技術(shù)，讓日本公司在國(guó)際上都有了競(jìng)爭(zhēng)力，能和美國(guó)人競(jìng)爭(zhēng)mos存儲(chǔ)器制造。
    曹長(zhǎng)久的這個(gè)芯片生產(chǎn)線雖說(shuō)按著公開(kāi)的最新技術(shù)設(shè)計(jì)，但是不敢托大，只是選擇了成熟的東西試產(chǎn)，力求一次成功，不留后患，時(shí)間不等人。
    試產(chǎn)那天，虞博士和曹長(zhǎng)久嚴(yán)陣以待，每個(gè)環(huán)節(jié)都親自把關(guān)。原料是進(jìn)口的高純3英寸硅單晶，價(jià)格那是相當(dāng)?shù)母摺?
    集成電路芯片號(hào)稱比黃金都貴，物料成本卻比垃圾都低，其原因就是原料使用的是無(wú)所不在的沙子。
    但是將沙子當(dāng)中的硅提煉提純卻需要相當(dāng)?shù)墓に嚕@個(gè)成本就是高的驚人了。光有晶圓還不夠，整個(gè)生產(chǎn)工序足有89道，每一道都是一個(gè)關(guān)口，要想將成品率控制在百分之八、九十以上其難度可想而知。
    作為精密印刷業(yè)的一個(gè)分支，芯片工藝最見(jiàn)不得的就是灰塵和缺陷，更何況幾乎上百道的工序要轉(zhuǎn)移。
    因此每道工序的合格率就成了關(guān)鍵，哪怕是百分之九十九也不成。很簡(jiǎn)單，一道工序合格百分之九十九，那么近百道工序下來(lái)還剩多少能用的？
    因此虞博士和長(zhǎng)久他們一個(gè)工序一個(gè)工序的檢查，務(wù)必保證完美。虞博士是老手，他當(dāng)年就是干這個(gè)的，因此熟門(mén)熟路。
    長(zhǎng)久就是一生手，好在他現(xiàn)在的地位已經(jīng)不需要干什么了，只要站那里看就行了。
    把所有的工序?yàn)V一遍需要好長(zhǎng)時(shí)間，整整一個(gè)星期就這么過(guò)去了，長(zhǎng)久不禁發(fā)懵。
    “虞叔，不是要試產(chǎn)嗎？”長(zhǎng)久感覺(jué)不太對(duì)勁，“這都過(guò)去好些日子了，怎么還沒(méi)動(dòng)靜？”
    “年輕人少安毋躁！”虞博士成竹在胸，“沒(méi)有三兩三，哪敢上梁山！一年多都等下來(lái)了，還在乎這點(diǎn)時(shí)間，我們雖說(shuō)有點(diǎn)錢(qián)，但也禁不起造的，準(zhǔn)備充分一點(diǎn)還是有好處的。”
    欲善其事先利其器的道理長(zhǎng)久還是懂得，倒也沒(méi)說(shuō)什么。虞博士這些日子的辛勞他也看在眼里，人家都身先士卒了，長(zhǎng)久一個(gè)頭還能不表示表示？
    忙碌了一周之后，生產(chǎn)線悄無(wú)聲息的開(kāi)動(dòng)了，一片片的晶圓猶如烤面包一樣的在爐子里面旋轉(zhuǎn)烘烤。一片灰塵就能報(bào)廢整個(gè)的晶圓，人人在里面都得穿上防化服，防止各種各樣的污染。
    這個(gè)生產(chǎn)線還不是全自動(dòng)化的，依然有人在里面做一些必須的工作，人人都小心翼翼，手里端的可都是希望。
    整整72小時(shí)，第一批的16k存儲(chǔ)器晶圓出爐了，經(jīng)過(guò)切割檢測(cè)，一個(gè)大致的成品率數(shù)據(jù)被估算出來(lái)了。
    “百分之七十八，嗯。”虞博士嘴里念叨著，臉上不動(dòng)聲色。
    長(zhǎng)久也不知道這個(gè)數(shù)據(jù)是好是壞，只好問(wèn)道：“虞叔怎么樣，能不能成啊。”
    虞博士笑道：“還行，等我們的工藝參數(shù)微調(diào)之后相信會(huì)更好。”
    “那就是成功了！”長(zhǎng)久拿著一塊成品晶圓興奮的大叫，“萬(wàn)歲！”
    這是一顆16Kbit的mos管動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器，是基于單晶體管存儲(chǔ)單元的結(jié)構(gòu)，使用了兩層多晶薄膜分開(kāi)三層電路結(jié)構(gòu)，就好像電路板分層一樣。
    兩層多晶結(jié)構(gòu)可以使整個(gè)的集成電路可以有更好的布線效率，就相當(dāng)于一塊電路板雙層的可以比單層的面積縮小一半。
    這是存儲(chǔ)器制造工藝的一個(gè)革命性的改進(jìn)，是虞博士親自開(kāi)發(fā)的。美國(guó)人早在1975年就實(shí)現(xiàn)了這個(gè)工藝，而華夏在這個(gè)年代還沒(méi)有這樣的技術(shù)，這次成功也算是一個(gè)小小的突破吧。
    為了制造出兩層多晶膜，這顆動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器使用了7層掩膜（MASK）。所謂掩膜，就是一張刻有圖形的透光板而已。
    我們都會(huì)用硬紙板寫(xiě)字或畫(huà)上圖案，然后按著圖形掏空，拿噴漆一噴就是一個(gè)字或圖案出來(lái)了。集成電路也是一樣，只不過(guò)光代替了噴漆，而掩膜板代替了硬紙板而已。
    集成電路生產(chǎn)線使用的掩膜板大多是石英玻璃，表面噴涂了金屬鉻，用照相技術(shù)或者電子束在其上進(jìn)行感光，之后酸一洗就是一個(gè)帶著圖案的掩膜版。
    長(zhǎng)久他們的工廠設(shè)備分辨率只能達(dá)到1~到3微米，只能進(jìn)行分步投影，接近正常的圖形,七層掩膜就是做這個(gè)用的。
    三英寸的硅晶